市场研究公司VLSI Research发布2010年度最佳芯片制造设备供应商奖,其中奖项分为封装设备、测试设备、材料运送设备、工艺诊断设备和晶圆处理设备。此项调查为芯片厂商,如Intel、Samsung、Nvidia、Toshiba、TSMC、Globalfoundries、ASE、AMKOR等,提供了评估相关设备的参考。
获奖供应商如下:
最佳封装设备供应商——Tokyo Seimitsu
最佳测试设备供应商——Verigy
最佳材料运送设备供应商——SUSS Micro Tec
最佳工艺诊断设备供应商——Keithley
最佳大型晶圆处理设备供应商——Varian
最佳小型晶圆处理设备供应商——Oerlikon